1. 청정도 검사의 중요성
    첨단 생성공정은 작은 먼지에 쉽게 오염될 수 있어 클린룸에서 공정이 이루어 지는데 단 한 개의 먼지도
    허용되지 않는 청정공간을 만들기 위해 각종 계측기를 사용하여 엄격하게 평가되고 관리되어야 한다.

2. 측정방법
    파티클 카운터 : 대기 중의 먼지 크기와 분포를 측정하는 계측장비를 이용하여 측정한다.

3. 청정도 검사기간
    클린룸 공사 후 업종에 따라 정기적 검사를 필요로 한다.

모니터링 & 청정도 검사 사진